直线电机控制技术在检测系统是什么应用的

2020-09-24 17:16:44 徽硕实业 8

 直线电机技术已广泛应用于半导体行业所需要的最先进的运动系统中。如果精度水平需要达到亚微米水平,位置稳定性需要纳米水平,必须采用最先进的技术。对于这样的要求,任何部件的缺陷都会影响整机的性能。正因为如此,它为用户提供了一个完整的运动系统平台,拥有最高质量的部件和最好的机械结构设计技术。在晶圆测试工具中,要求极高的精度和生产率。


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  为了满足高标准的应用要求,LSM直线电机及其独特的功能满足了这个高科技行业的要求。最终,这些重要的部件组成了一个机械系统,实现了最高的性能。


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  大多数微电子器件都要求进行无损检测(NDT)。该测试用于确保产品的功能和可靠性。由于在线检测,速度必须快,精度必须高,以确保生产线的生产能力不受质量控制程序的影响。


  根据被测产品的类型,从无源器件到复杂的IC,都需要不同的检测技术,如光学检测、x射线检测或超声波检测。由直线电机技术组成的完整运动系统,为用户带来高精度和最大生产率。


  在测试设备中,为了达到最大的性能,通常两个重要的系统必须保持同步,移动平台和测试系统本身。由于HANS能够提供一个完整的运动平台系统和运动控制单元,保证了检测设备的关键运动技术要求。这使得设备制造商能够专注于他们在检测系统、缺陷识别软件等方面的核心竞争力,同时要求晶圆运动系统的精度、重复性和生产力。


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