直线电机技术已广泛应用于半导体行业高端运动控制系统中。针对亚微米级精度、纳米级位置稳定性的超高精密工况，对设备零部件精度、结构设计均有着严苛要求，任一部件的瑕疵，都会影响设备整体运行性能。

 依托完善的零部件配置与成熟的机械结构设计方案，可搭建高稳定性、高精度的成套运动系统平台，适配半导体高端生产场景。晶圆检测设备对加工精度与生产效率要求严苛，LSM直线电机凭借自身独特的性能优势，可匹配半导体高科技行业的严苛使用标准，搭配精密零部件组成的机械运动系统，能够实现优异的精密运行性能。

 在贴片机等微电子设备领域，无损检测（NDT）是保障产品功能与使用可靠性的核心工序。在线检测环节对运行速度、定位精度要求较高，可有效规避质量检测工序影响整条生产线产能的问题。

 针对无源器件、复杂IC等不同品类产品，行业可适配光学检测、X射线检测、超声波检测等多样化检测技术。搭载直线电机技术的成套运动系统，能够为检测设备提供高精度运动支撑，助力设备提升检测效率与生产产能。

 精密检测设备想要实现优异运行性能，需要移动运动平台与检测系统精准同步协作。HANS可提供成套运动平台系统与运动控制单元，满足检测设备核心运动技术要求。设备厂商可聚焦检测算法、缺陷识别软件等核心技术研发，同时依托高精度直线电机运动系统，保障晶圆检测、器件检测设备的精度、重复性与生产效率。